VOC废气处理工艺方法有：喷淋+等离子、喷淋+UV光解、喷淋+光解等离子、微生物法、RCO燃烧法、浓缩回收法 。在实际工程运用中，针对小气量低浓度的场所可以考虑微生物法。具有易燃性质的废气，一般建议采用喷淋预处理后再配套其他处理工艺。
VOC废气处理各种工艺的优缺点:
1、喷淋+等离子
采用的核心原理是等离子场分解，优点：设备占地面积小，主要针对低浓度；缺点：有一定的安全隐患，净化效果不稳定。
2、喷淋+UV光解
采用的核心原理是臭氧分解，优点：净化效果高，处理效果稳定，主要针对中低浓度；缺点：需控制氧化停留时间。
3、喷淋+光解等离子
采用的核心原理是复合臭氧和等离子，优点：净化效率高，主要针对中等浓度；缺点：有一定的安全隐患。
4、微生物法
采用的核心原理是生物降解，优点：没有二次污染，设备能耗小；缺点：运行操作要求高，设备体积大，需要定期补充微生物，维护成本高。
5、RCO燃烧法
采用的核心原理是高温燃烧，优点：主要针对高浓度有机废气，污染成分分解彻底；缺点：能耗高，运行操作要求高，设备体积大，有一定的安全隐患。
6、浓缩回收法
采用的核心原理是萃取浓缩，优点：主要针对成分单一的废气回收有价值的成分，有经济效益；缺点：操作性要求高。
在实际工程运用中，针对小气量低浓度的场所可以考虑微生物法。具有易燃性质的废气，一般建议采用喷淋预处理后再配套其他处理工艺。